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数字化光刻

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iGrapher 大型紫表直写光刻系统

技术特点

  • 选取DPSSL 355nm光源
  • 支持8-130英寸幅面
  • 超高精密系统
  • 高精度环控系统
  • 自动式隔振系统
  • 高精度气浮活动平台
  • 高速图形化
  • 频闪平铺光斑曝光
  • 3D导航自动聚焦
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规格参数

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* 具体指标因工艺差距有所分歧

 

利用示例

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